Microsystèmes électromécaniques autonomes et à haute efficacité

微机电系统（MEMS）与1960年的一年有关，但其重要性并不在于该系列产品。自1990年以来，新材料和新制造技术的出现使微机电系统的成功进入市场并被勒格朗广泛采用。Parmi ces premiers successès，on compte les accéléromètres pour le controlle des pastrins gonflables，les têtes d'imprimante de type inkjet et les miroirs orientables pour les projectories pour ne nommer que quelques quiples. Parmi les applications les plus récentes，on compte le microphone MEMS et les captured 'empreinte digitale.目前，MEMS在汽车、电子、生物医学、通信和国防等领域的应用非常广泛。近年来，一个重要的应用是无线传感器网络，它使无源和电子通信技术的发展成为可能。潜在的应用有很多种（智能城市、农业、监测、卫生等）。总之，capturene的这些网络并不重要，而且需要一个由一个桩组成的外部能源。为了使船长的能力得到提高，并使他们的工作得到进一步的发展，他们决定将其作为一个整体。在大规模创新的背景下，MEMS和电容器发挥着两种作用：1）作为能源来源，2）减少能源消耗（通过能源管理），以及在领域内获得能源。Ce programme de recherche vise à répondre à la question：comment surmonter les limitations technologiques actuelles afin de permettre l'éclusion d'une nouvelle génération de capacitors et de microsystèmes complètement energie.为了解决这一问题，提出了研究方案的主要目标：OLT 1）探索建立微型系统的能力、效率和良好市场的最佳技术; OLT 2）建立一个基于微型电子技术人员的能力、多样性和包容性的研究。法院泰尔梅的目的是：OCT 1）探索创造高性能的能源储备的可能性; OCT 2）探索减少微系统能量消耗的可能性; OCT 1）探索利用新的能源储备和经济技术来应用于电力系统。

Les microsystèmes électromécaniques (MEMS) ont connu le jour pendant les années 1960 et leur importance n'a par la suite cessé de croitre. Depuis les années 1990, de nouveaux matériaux et de nouvelles technologies de fabrications ont permis l'émergence de MEMS bon marché et leur adoption par le grand public. Parmi ces premiers succès, on compte les accéléromètres pour le contrôle des coussins gonflables, les têtes d'imprimante de type inkjet et les miroirs orientables pour les projecteurs pour ne nommer que quelques exemples. Parmi les applications les plus récentes, on compte le microphone MEMS et les capteurs d'empreinte digitale. De nos jours, les applications des MEMS sont très nombreuses dans les domaines comme l'industrie automobile, l'électronique, le biomédical, la communication et la défense. Ces dernières années, une application qui gagne beaucoup en importance est celle des réseaux de capteurs (wireless sensors network WSN) qui a été rendue possible grâce au développement récent des technologies de communication sans fil et de l'électronique embarquée. Les applications potentielles sont nombreuses (villes intelligentes, agriculture, monitorage de l'environnement, santé, etc.). Toutefois, ces réseaux de capteurs ne sont pas réellement autonomes et nécessitent une source d'énergie externe généralement fournie par une pile. Pour que les réseaux de capteurs puissent développer leur potentiel et être réellement déployés à très grande échelle, ils doivent devenir entièrement autonomes. Dans ce contexte de grandes innovations, les MEMS et les capteurs joueront un rôle clef par exemple 1) en agissant comme source d'énergie et 2) en permettant de diminuer la consommation d'énergie (par la gestion de l'énergie orientée événement par exemple) en plus permettant l'acquisition des données dans le domaine physique. Ce programme de recherche vise à répondre à la question : comment surmonter les limitations technologiques actuelles afin de permettre l'éclosion d'une nouvelle génération de capteurs et de microsystèmes complètement autonomes en énergie. Pour pouvoir répondre à cette question, le programme de recherche proposé se pose les objectifs principaux à atteindre suivants : OLT1) explorer les meilleures techniques pour créer des microsystèmes zéro-puissance, efficaces et bon marché; OLT2) créer un environnement de recherche basé sur l'équité, la diversité et l'inclusion afin de former du personnel hautement qualifié en microélectronique. Les objectifs à court terme sont : OCT1) explorer la possibilité de créer des récolteurs d'énergie plus performants; OCT2) explorer les possibilités de diminuer la consommation de puissance des microsystèmes; OCT1) démontrer l'utilité des nouvelles techniques de récolte et d'économie d'énergie à l'application des réseaux de capteurs complètement autonomes.