共振隧穿量子阱薄膜结构的压阻特性研究
批准号：
50775209
项目类别：
面上项目
资助金额：
32.0 万元
负责人：
熊继军
依托单位：
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
2010
批准年份：
2007
项目状态：
已结题
项目参与者：
马喜宏、沈三民、张国军、范波、高健飞、谭秋林
关键词：
项目摘要
结项摘要
项目成果
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中文摘要
超晶格量子阱薄膜材料中存在共振隧穿，共振隧穿的电流-电压特性随结构所承受内应力的变化而变化。通过微结构，可以将被测试的外力转化为超晶格量子阱薄膜结构内应力的变化。本项目将通过研究微加工工艺，在砷化镓基底上制作出微悬臂梁，梁上通过分子束外延并图形化的办法形成超晶格量子阱薄膜电阻结构，以悬臂梁- - "电阻"系统为具体研究对象，研究在不同外力作用下，超晶格量子阱薄膜共振隧穿的电流-电压（电阻）变化的各种特性：灵敏度、线性度、温度稳定性等，给出优化后的超晶格量子阱薄膜压阻效应的灵敏度曲线、线性度曲线以及温度稳定性曲线，从而为这种基于介观机理的压阻效应实现在力-电转换传感器件中的推广应用奠定基础。
英文摘要
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DOI：
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发表时间：
--
期刊：
测试技术学报(增刊), 2008
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
传感技术学报, 2008
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
半导体学报. 2008，29(2)：324~328
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
Research on double-barrier resonant tunneling effect based stress measurement methods
基于双势垒共振隧道效应的应力测量方法研究
基于双势垒共振隧道效应的应力测量方法研究
DOI：
10.1016/j.sna.2008.12.015
发表时间：
2009-03
期刊：
Sensors and Actuators A-physical
影响因子：
4.6
作者：
[]
通讯作者：
DOI：
10.1088/1674-1056/19/4/047310
发表时间：
2010-04
期刊：
Chinese Physics B
影响因子：
1.7
作者：
[Li Qiuzhu;Wang Kai-qun;Jian Aoqun;Liu Xin;Zhang Bin-zhen]
通讯作者：
Li Qiuzhu;Wang Kai-qun;Jian Aoqun;Liu Xin;Zhang Bin-zhen
共 9 条
面向燃烧脉动测量的温压双参数原位传感技术基础研究
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批准号：51935011
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项目类别：重点项目
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资助金额：300.0万元
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批准年份：2019
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负责人：熊继军
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依托单位：
集成纳米结构的光源与多敏感元一体化的红外气体传感器
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批准号：61335008
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项目类别：重点项目
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资助金额：260.0万元
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批准年份：2013
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负责人：熊继军
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依托单位：
基于非接触测量的超高温MEMS压力传感器基础研究
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批准号：51075375
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项目类别：面上项目
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资助金额：41.0万元
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批准年份：2010
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负责人：熊继军
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依托单位：
国内基金
海外基金