一种应用于AlGaN/GaN微波功率器件的场板栅结构理论模型和新工艺研究
批准号:
60676048
项目类别:
面上项目
资助金额:
27.0 万元
负责人:
杨林安
依托单位:
学科分类:
F0404.半导体电子器件与集成
结题年份:
2009
批准年份:
2006
项目状态:
已结题
项目参与者:
张金凤、王省莲、陈军峰、倪金玉、万辉、林锡贵
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中文摘要
着重于宽禁带半导体异质结AlGaN/GaN HEMT微波功率器件的场板(FP)栅结构的解析模型和SiN介质层新工艺研究,包括在数值模拟的基础上建立实用的FP栅结构解析模型,以用于器件的优化设计;采用超高真空蒸发设备制备高品质SiN薄膜,所采用的剥离技术完全兼容常规结构AlGaN/GaN HEMT器件工艺,大大降低器件研制成本。在已经掌握AlGaN/GaN异质外延生长、掌握常规栅结构器件制造的基础上,进一步研发输出功率比常规栅器件提高50%以上的FP栅器件样品,这种器件在国内正在进行的区电工程、998工程的机载相控阵雷达、电子战系统以及新一代卫星收发系统中有极大的应用潜力。这种在理论上系统研究FP栅结构器件解析模型的课题在国内外还未见详细报道,而且这种研发具有自主知识产权的FP栅AlGaN/GaN 大功率微波器件的课题对我国防装备的现代化建设具有重大意义。
英文摘要
期刊论文列表
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DOI:--
发表时间:--
期刊:物理学报
影响因子:--
作者:郝跃;段焕涛;倪金玉;张进成;张金风
通讯作者:张金风
DOI:--
发表时间:--
期刊:科学通报
影响因子:--
作者:杨林安;郝跃;张进成;倪金玉
通讯作者:倪金玉
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2009.05.028
发表时间:2009-07
期刊:Journal of Crystal Growth
影响因子:1.8
作者:Shiliu Xu;Y. Hao;Jincheng Zhang;Xiaowei Zhou;Lin-An Yang;Jinfeng Zhang;H. Duan;Zhi-ming Li;M. Wei;S. G. Hu;Yanrong Cao;Q. Zhu;Z. Xu;W. Gu
通讯作者:Shiliu Xu;Y. Hao;Jincheng Zhang;Xiaowei Zhou;Lin-An Yang;Jinfeng Zhang;H. Duan;Zhi-ming Li;M. Wei;S. G. Hu;Yanrong Cao;Q. Zhu;Z. Xu;W. Gu
An X-band GaN combined solid-state power amplifier
X波段GaN组合固态功率放大器
DOI:10.1088/1674-4926/30/9/095001
发表时间:2009-09
期刊:半导体学报
影响因子:--
作者:胡仕刚;杨林安;冯辉;段焕涛;陈炽;马晓华;郝跃
通讯作者:郝跃
The improvement of Al2O3/AlGaN/GaN MISHEMT performance by N-2 plasma pretreatment
N-2等离子体预处理提高Al2O3/AlGaN/GaN MISHEMT性能
DOI:--
发表时间:--
期刊:Chinese Physics B
影响因子:1.7
作者:Yue Yuan-Zheng;Hao Yue;Bi Zhi-Wei;Tian Yuan;Feng Qian;Ni Jin-Yu;Yang Lin-An;Zhang Jin-Cheng
通讯作者:Zhang Jin-Cheng
氮化镓基高功率低噪声太赫兹IMPATT二极管研究
- 批准号:61974108
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:59.0万元
- 批准年份:2019
- 负责人:杨林安
- 依托单位:
面向太赫兹应用的氮化镓基谐波增强型高电子迁移率晶体管研究
- 批准号:61674117
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:62.0万元
- 批准年份:2016
- 负责人:杨林安
- 依托单位:
氮化物半导体THz电子器件关键技术研究
- 批准号:61274092
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:75.0万元
- 批准年份:2012
- 负责人:杨林安
- 依托单位:
新型AlGaN/GaN太赫兹耿氏二极管研究
- 批准号:61076079
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:39.0万元
- 批准年份:2010
- 负责人:杨林安
- 依托单位:
国内基金
海外基金















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