课题基金 / 基金详情

大尺寸CVD金刚石单晶的快速生长及其硼掺杂特性的研究

批准号：
50772041
项目类别：
面上项目
资助金额：
32.0 万元
负责人：
李红东
依托单位：
吉林大学
学科分类：
碳素材料与超硬材料
结题年份：
2010
批准年份：
2007
项目状态：
已结题
项目参与者：
吕宪义、张剑、李英爱、高世勇、杨旭昕、王启亮、成绍恒
关键词：
生长机制大尺寸硼掺杂快速生长CVD金刚石单晶

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中文摘要
本课题采用微波等离子体化学气相沉积(MW-PCVD)方法，在金刚石单晶籽晶上同质外延快速生长大尺寸金刚石单晶。研究反应室压强、等离子体密度、气体流量比（氢气：甲烷：氮气）、基底温度等制备参数对金刚石单晶生长速率和品质的影响，探索最佳工艺条件，研究生长规律，以期获得生长速率大于100μm/h，尺寸为10mm×10mm的高品质金刚石单晶。通过分析氮在单晶内的分布，探讨掺氮对提高生长速率影响的物理机制。在CVD金刚石单晶研究基础上，通过有效的硼掺杂，获得p-型金刚石半导体单晶。深入研究CVD金刚石单晶的结构及缺陷和杂质性质，以及相应的光电等特性。通过本课题的实施，解决CVD方法快速生长大尺寸金刚石单晶及其掺杂等的关键技术问题，为新一代以金刚石为基的半导体电子、光电子器件研究奠定基础。
英文摘要
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Synthesis and properties of boron doped ZnO nanorods on silicon substrate by low-temperature hydrothermal reaction
硅基硼掺杂ZnO纳米棒的低温水热反应合成及性能
DOI： 10.1016/j.apsusc.2011.01.081
发表时间： 2011-05
期刊： Applied Surface Science
影响因子： 6.7
作者： [Qi Yu, Hongdong Li, D, an Sang, Shiyong Gao, Liuan Li, Pinwen Zhu, Jujun Yuan]
通讯作者： Jujun Yuan
Growth and characteristics of ZnO films on growth side of freestanding diamond substrate dependent on buffer layer thickness
独立式金刚石基板生长侧 ZnO 薄膜的生长和特性取决于缓冲层厚度
DOI： 10.1016/j.tsf.2010.03.071
发表时间： 2010-07
期刊： Thin Solid Films
影响因子： 2.1
作者： [Zou Guangtian, Li Yingai, Ren Shiyuan, Lv Xianyi, Li Hongdong, Liu Junwei, Yang Xuxin, Gao Shiyong]
通讯作者： Gao Shiyong
Dependence of reaction pressure on deposition and properties of boron-doped freestanding diamond films
反应压力对硼掺杂独立式金刚石薄膜沉积和性能的依赖性
DOI： 10.1016/j.apsusc.2009.09.109
发表时间： 2010-01-01
期刊： APPLIED SURFACE SCIENCE
影响因子： 6.7
作者： [Li, Liuan, Li, Hongdong, Zou, Guangtian]
通讯作者： Zou, Guangtian
Hydrothermal synthesis, characterization and properties of TiO2 nanorods on boron-doped diamond film
硼掺杂金刚石薄膜上TiO2纳米棒的水热合成、表征及性能
DOI： 10.1016/j.matlet.2010.06.033
发表时间： 2010-09
期刊： Materials Letters
影响因子： 3
作者： [Yuan J. J., Gao S. Y., Li L. A., Lu D., Sang D. D., Li H. D.]
通讯作者： Li H. D.
共 12 条
    引入纳米金刚石提升锂离子电池性能及其机理研究
    • 批准号：
      52172044
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      58万元
    • 批准年份：
      2021
    • 负责人：
      李红东
    • 依托单位：
      吉林大学
    半导体金刚石浅施主n型掺杂的理论与实验研究
    • 批准号：
      51972135
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      60.0万元
    • 批准年份：
      2019
    • 负责人：
      李红东
    • 依托单位：
      吉林大学
    金刚石表面等离激元纳米结构制备与光学特性研究
    • 批准号：
      51672102
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      62.0万元
    • 批准年份：
      2016
    • 负责人：
      李红东
    • 依托单位：
      吉林大学
    二维金刚石纳米膜的结构演化及物性的理论与实验研究
    • 批准号：
      51472105
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      83.0万元
    • 批准年份：
      2014
    • 负责人：
      李红东
    • 依托单位：
      吉林大学
    国内基金
    海外基金