课题基金 / 基金详情

二维硅微加速度计设计技术研究

批准号：
10176040
项目类别：
联合基金项目
资助金额：
18.0 万元
负责人：
温志渝
依托单位：
重庆大学
学科分类：
NSFC-中物院联合基金
结题年份：
2004
批准年份：
2001
项目状态：
已结题
项目参与者：
苏伟、何清义、吴英、张正元、陈光焱
关键词：
二维加速度计.设计.系统仿真

项目摘要

结项摘要

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中文摘要
本项目利用微电子技术、MEMS技术、传感器技术等，研究二维硅微加速度计的相关基础理论及关键共性技术。以宏观理论为基础，研究微小尺度下二维硅微加速度计系统的力学特性、气体阻尼特性、交叉耦合等基础理论，建立相应的理论模型、系统的结构优化设计、工艺优化设计及仿真系统。
英文摘要
基于MOEMS集成扫描光栅微镜的微型近红外光谱仪
  • 批准号：
    61327002
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    290.0万元
  • 批准年份：
    2013
  • 负责人：
    温志渝
  • 依托单位：
    重庆大学
基于量子级联激光器的微型红外光谱分析系统关键技术研究
  • 批准号：
    60850006
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2008
  • 负责人：
    温志渝
  • 依托单位：
    重庆大学
集成生化分离分析芯片系统集成技术研究
  • 批准号：
    90307015
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    35.0万元
  • 批准年份：
    2003
  • 负责人：
    温志渝
  • 依托单位：
    重庆大学
硅型振动式发电机系统集成化新技术的研究
  • 批准号：
    60076021
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    12.0万元
  • 批准年份：
    2000
  • 负责人：
    温志渝
  • 依托单位：
    重庆大学
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