研究利用微电子技术和MEMS技术、依据电磁感应原理实现微型振动式发电机系统集成化的新思想。研究将外部振动能转换成电能的微谐振系统、发电机线圈和处理电路一体化三维集成的基础理论及关键技术，以构成一种高集成度、高灵敏、高效能、长寿命、体积很小的全集成硅微型振动式发电机。本课题的研究将在微电源及MEMS领域产生一次重大突破。