硅型振动式发电机系统集成化新技术的研究
批准号:
60076021
项目类别:
面上项目
资助金额:
12.0 万元
负责人:
温志渝
依托单位:
学科分类:
集成电路器件、制造与封装
结题年份:
2002
批准年份:
2000
项目状态:
已结题
项目参与者:
李文荣、何清义、蒋子平、吴英、陈刚、陈光焱
关键词:
中文摘要
研究利用微电子技术和MEMS技术、依据电磁感应原理实现微型振动式发电机系统集成化的新思想。研究将外部振动能转换成电能的微谐振系统、发电机线圈和处理电路一体化三维集成的基础理论及关键技术,以构成一种高集成度、高灵敏、高效能、长寿命、体积很小的全集成硅微型振动式发电机。本课题的研究将在微电源及MEMS领域产生一次重大突破。
英文摘要
基于MOEMS集成扫描光栅微镜的微型近红外光谱仪
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批准号:61327002
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:290.0万元
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批准年份:2013
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负责人:温志渝
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依托单位:
基于量子级联激光器的微型红外光谱分析系统关键技术研究
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批准号:60850006
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:25.0万元
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批准年份:2008
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负责人:温志渝
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依托单位:
集成生化分离分析芯片系统集成技术研究
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批准号:90307015
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项目类别:重大研究计划
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资助金额:35.0万元
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批准年份:2003
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负责人:温志渝
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依托单位:
二维硅微加速度计设计技术研究
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批准号:10176040
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项目类别:联合基金项目
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资助金额:18.0万元
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批准年份:2001
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负责人:温志渝
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依托单位:
微型多道光谱分析系统集成化技术研究
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批准号:69836050
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项目类别:重点项目
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资助金额:130.0万元
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批准年份:1998
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负责人:温志渝
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依托单位:
集成真空微电子触觉传感器阵列新技术研究
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批准号:69585008
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项目类别:专项基金项目
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资助金额:12.0万元
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批准年份:1995
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负责人:温志渝
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依托单位:
微型多道成象光谱分析系统的集成化新技术研究
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批准号:69476023
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项目类别:面上项目
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资助金额:8.8万元
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批准年份:1994
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负责人:温志渝
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依托单位:
国内基金
海外基金