课题基金 / 基金详情

硅型振动式发电机系统集成化新技术的研究

批准号:
60076021
项目类别:
面上项目
资助金额:
12.0 万元
负责人:
温志渝
依托单位:
学科分类:
集成电路器件、制造与封装
结题年份:
2002
批准年份:
2000
项目状态:
已结题
项目参与者:
李文荣、何清义、蒋子平、吴英、陈刚、陈光焱

项目摘要

结项摘要

温志渝的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
研究利用微电子技术和MEMS技术、依据电磁感应原理实现微型振动式发电机系统集成化的新思想。研究将外部振动能转换成电能的微谐振系统、发电机线圈和处理电路一体化三维集成的基础理论及关键技术,以构成一种高集成度、高灵敏、高效能、长寿命、体积很小的全集成硅微型振动式发电机。本课题的研究将在微电源及MEMS领域产生一次重大突破。
英文摘要
基于MOEMS集成扫描光栅微镜的微型近红外光谱仪
  • 批准号:
    61327002
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    290.0万元
  • 批准年份:
    2013
  • 负责人:
    温志渝
  • 依托单位:
基于量子级联激光器的微型红外光谱分析系统关键技术研究
  • 批准号:
    60850006
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    25.0万元
  • 批准年份:
    2008
  • 负责人:
    温志渝
  • 依托单位:
集成生化分离分析芯片系统集成技术研究
  • 批准号:
    90307015
  • 项目类别:
    重大研究计划
  • 资助金额:
    35.0万元
  • 批准年份:
    2003
  • 负责人:
    温志渝
  • 依托单位:
二维硅微加速度计设计技术研究
  • 批准号:
    10176040
  • 项目类别:
    联合基金项目
  • 资助金额:
    18.0万元
  • 批准年份:
    2001
  • 负责人:
    温志渝
  • 依托单位:
国内基金
海外基金