课题基金 / 基金详情

集成真空微电子触觉传感器阵列新技术研究

批准号：
69585008
项目类别：
专项基金项目
资助金额：
12.0 万元
负责人：
温志渝
依托单位：
重庆大学
学科分类：
自动化检测技术与装置
结题年份：
1998
批准年份：
1995
项目状态：
已结题
项目参与者：
林鹏、何清义、罗启泉、胡松、王晓兰
关键词：
微细加工技术触觉传感器真空微电子

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