课题基金基金详情
深层刻蚀微电铸微复制（ＤＥＭ）技术研究
批准号：
59875060
项目类别：
面上项目
资助金额：
15.0 万元
负责人：
陈迪
依托单位：
上海交通大学
学科分类：
E0509.加工制造
结题年份：
2001
批准年份：
1998
项目状态：
已结题
项目参与者：
赵小林、张大成、章吉良、丁桂甫、周勇、王水、雷蔚
关键词：
深层刻蚀.微电铸.微复制
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基于MEMS微弹簧的集成探卡研究
  • 批准号：
    50575132
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2005
  • 负责人：
    陈迪
  • 依托单位：
    上海交通大学
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