半导体科学和光学与光电子学领域20年基金资助状况分析
批准号:
F0524401
项目类别:
专项基金项目
资助金额:
10.0 万元
负责人:
夏洋
依托单位:
学科分类:
F04.半导体科学与信息器件
结题年份:
2006
批准年份:
2005
项目状态:
已结题
项目参与者:
--
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等离子体掺杂离子注入机
- 批准号:60727003
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:140.0万元
- 批准年份:2007
- 负责人:夏洋
- 依托单位:
InP HBT双自对准转移衬底方法研究
- 批准号:60676046
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:25.0万元
- 批准年份:2006
- 负责人:夏洋
- 依托单位:
ULSI中铜互连线的研究
- 批准号:69936020
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:120.0万元
- 批准年份:1999
- 负责人:夏洋
- 依托单位:
国内基金
海外基金
