InP HBT双自对准转移衬底方法研究

批准号:
60676046
项目类别:
面上项目
资助金额:
25.0 万元
负责人:
夏洋
依托单位:
学科分类:
F0404.半导体电子器件与集成
结题年份:
2009
批准年份:
2006
项目状态:
已结题
项目参与者:
于进勇、陈晓娟、梁晓新、程伟
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中文摘要
现代数字通讯、仪器设备及毫米波通讯系统要求各种功能芯片工作在直流到100GHz的频率范围内,这些都要求开发几百GHz的晶体管。InP HBT由于具有散热性好、工作频率高、阈值电压低的特点,成为几百GHz晶体管的主要选择之一。双自对准转移衬底方法有效的克服InP HBT集电极宽度受到的限制,极大的降低集电结寄生电容和基极寄生电阻,是将InP HBT的截止频率提高到1000GHz以上的关键技术,同时该
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High—speed InGaAs/InP double heterostructure bipolar transistor with high breakdown voltage
具有高击穿电压的高速 InGaAs/InP 双异质结构双极晶体管
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作者:
通讯作者:
Submciron InGaAs/InP heterojunction bipolar transistor with ft of 238 GHz
Submciron InGaAs/InP 异质结双极晶体管,ft 为 238 GHz
DOI:--
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作者:
通讯作者:
On the design of base-collector junction of InGaAs/InP DHBT
InGaAs/InP DHBT基极-集电极结的设计
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期刊:
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作者:
通讯作者:
InP/InGaAs Heterojunction Bipolar Transistor with Base μ-Bridge and Emitter Air-Bridge
具有基极 μ 桥和发射极空气桥的 InP/InGaAs 异质结双极晶体管
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发表时间:--
期刊:
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作者:
通讯作者:
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发表时间:--
期刊:中国科学 2008 Vol.38No.9 1521-1528
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作者:
通讯作者:
等离子体掺杂离子注入机
- 批准号:60727003
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:140.0万元
- 批准年份:2007
- 负责人:夏洋
- 依托单位:
半导体科学和光学与光电子学领域20年基金资助状况分析
- 批准号:F0524401
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:10.0万元
- 批准年份:2005
- 负责人:夏洋
- 依托单位:
ULSI中铜互连线的研究
- 批准号:69936020
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:120.0万元
- 批准年份:1999
- 负责人:夏洋
- 依托单位:
国内基金
海外基金
