高密度DNA芯片作为一种高通量的生物医学研究手段被广泛应用。它能将几十万中不同序列的DNA分子排列在一块基片上，用于对全基因组几万种基因的同时检测。而目前的基于光刻技术的制备DNA芯片方法需要大量的掩膜版（mask）指导DNA单体在基片上原位合成DNA序列，成本高，技术难度大。本课题旨在研发一种新的无掩膜版（maskless）的原位合成方法来制备高密度DNA芯片，解决现有技术生产高密度DNA芯片成本高、灵活性差的问题，并有可能实现DNA芯片的在片检测，用于研制便携式生物传感器。通过制备高密度的可控发光的紫外发光二极管（UV-LED）微阵列来控制和指导DNA在基片上的原位合成。内容包括UV-LED芯片的生长条件的优化；UV-LED器件结构设计和相应工艺条件的探索；用于连接芯片和DNA合成仪隔绝水汽和氧气的反应小室的制备；摸索反应条件与合成效率、合成质量、阵列密度等的关系等。