面向半导体前道量测的空间超精密对位 性能调控研究
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
汤晖
依托单位：
广东工业大学
学科分类：
E03.有机高分子材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
汤晖
关键词：
高分子材料超精密调控功能性材料界面工程有机光电子材料
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高密度晶圆级芯片直接倒装互连高效精准一致创成关键技术研究
  • 批准号：
    51975132
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    60.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    汤晖
  • 依托单位：
    广东工业大学
晶圆级芯片直接倒装互连微纳操纵关键基础研究
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    汤晖
  • 依托单位：
    广东工业大学
面向三自由度压电快刀伺服的柔性机械位移放大器设计与控制研究
  • 批准号：
    51605102
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    23.0万元
  • 批准年份：
    2016
  • 负责人：
    汤晖
  • 依托单位：
    广东工业大学
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