Extended vacancy-type defects in silicon induced at low temperatures by electron irradiation

Extended vacancy-type defects in silicon induced at low temperatures by electron irradiation
复制标题

低温下电子辐照引起的硅中扩展的空位型缺陷

DOI:
--
复制
发表时间:
2003
期刊:
Philos. Mag. A 83
影响因子:
--
通讯作者:
Y.Kimura
Y.Kimura
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
J.Yamasaki;S.Takeda;Y.Ohno;Y.Kimura

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

DOI: 10.1103/physrevlett.79.2994
发表时间: 1997
影响因子: 8.6
作者:
S. Takeda;K. Koto;S. Iijima;T. Ichihashi
通讯作者: T. Ichihashi
半导体中的点缺陷辅助扩散
DOI: --
发表时间: 1999
期刊:
影响因子: --
作者:
J. Dabrowski
通讯作者: J. Dabrowski
Si 空位中的共价、弹性和电子相关性
DOI: --
发表时间: 1995
期刊:
影响因子: --
作者:
A. Oshiyama;M. Saito;O. Sugino
通讯作者: O. Sugino
1–5 keV Si+ 离子注入产生的硅间隙缺陷
DOI: --
发表时间: 1997
期刊:
影响因子: --
作者:
A. Agarwal;T. E. Haynes;D. Eaglesham;H. Gossmann;D. Jacobson;J. Poate;Y. Erokhin
通讯作者: Y. Erokhin
硅中 MeV Si、Ge 和 Sn 注入产生的二次缺陷的透射电子显微镜表征
DOI: --
发表时间: 2000
期刊:
影响因子: --
作者:
J. Wong;S. Fatima;C. Jagadish;J. Gerald;C. Chou;J. Zou;D. Cockayne
通讯作者: D. Cockayne