Measurement of Au Deposition Rates with Low-Energy Mass Separated Ion Beam Deposition Apparatus
Measurement of Au Deposition Rates with Low-Energy Mass Separated Ion Beam Deposition Apparatus
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用低能质量分离离子束沉积装置测量金沉积速率
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Hamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Hine;S.Yoshimura;T.Maeda;M.Kiuchi;S.Hamaguchi
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DOI：
10.1016/s0168-583x(01)01263-0
发表时间：
2002
影响因子：
1.3
作者：
D. Ratschko;D. Knolle;E. Finke;M. Gläser
通讯作者：
M. Gläser
不同能量密度下 45 keV 离子溅射 Au
影响因子：
4
作者：
E. P. Eernisse
通讯作者：
E. P. Eernisse
弗里曼型溅射离子源的研制及其在涂料中的应用
DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
作者：
Matsumoto Takashi;K. Mimoto;T. Yoshikawa;M. Kiuchi;S. Gotô;M. Ohba;Agawa Yoshiaki
通讯作者：
Agawa Yoshiaki
聚焦离子束直接沉积金属薄膜
影响因子：
1.6
作者：
S. Nagamachi;Y. Yamakage;M. Ueda;H. Maruno;J. Ishikawa
通讯作者：
J. Ishikawa
金自溅射的能量依赖性
DOI：
10.1016/0029-554x(76)90749-7
发表时间：
1976
期刊：
Nuclear Instruments and Methods
影响因子：
--
作者：
H. Bay;H. H. Andersen;W. O. Hofer;O. Nielsen
通讯作者：
O. Nielsen