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Engineering Research Equipment Grant: RF Sputtering System for Thin Film Deposition

Engineering Research Equipment Grant: RF Sputtering System for Thin Film Deposition
工程研究设备补助金：用于薄膜沉积的射频溅射系统
批准号：
8806875
负责人：
John Vetelino
金额：
$4.82万
依托单位：
University of Maine
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1988
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1988-07-01 至 1989-12-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8806875&HistoricalAwards=false
关键词：
EngineeringResearchEquipmentGrantRF

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
这是一个研究设备补助金，用于购买射频 溅射系统 该设备将用于研究 用于气体检测的表面声波（SAW）微传感器，包括 硫化氢 其他项目包括使用SAW传感器， 聚酰亚胺薄膜、新型低损耗SAW滤波器和SAW波导 各向异性衬底。 这些传感器使用金属和 介电薄膜
英文摘要
This is a research equipment grant for the purchase of an RF sputtering system. This equipment will be used for research on surface acoustic wave (SAW) microsensors for gas detection, including hydrogen sulfide. Other projects include the use of SAW sensors for polyimide films, novel low loss SAW filters and SAW waveguides on anisotropic substrates. These sensors use both metallic and dielectric films.
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会议论文
PFI:AIR - TT: Lateral Field Excited Acoustic Wave Sensor for Monitoring Thin Film Properties in Solid State Devices
  • 批准号：
    1701087
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $20.0万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    John Vetelino
  • 依托单位：
    University of Maine
REU Site: Sensor Science and Engineering
  • 批准号：
    1156611
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $41.87万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    John Vetelino
  • 依托单位：
    University of Maine
REU Site: Sensor Science and Engineering
  • 批准号：
    0848014
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $32.0万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    John Vetelino
  • 依托单位：
    University of Maine
EXP-SA: A Lateral Field Excited Acoustic Wave Sensor for Peroxide-Based Explosives
  • 批准号：
    0730753
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $40.0万
  • 财政年份：
    2007
  • 负责人：
    John Vetelino
  • 依托单位：
    University of Maine
国内基金
海外基金
Research on Quantum Field Theory without a Lagrangian Description
  • 批准号：
    24ZR1403900
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    SATOSHI NAWATA
  • 依托单位：
    复旦大学
Cell Research
Cell Research
Cell Research (细胞研究)