Reduzierte kinetische Modelle für die Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase (A 04)

本文提出了一种基于Kohlenstoff的气相沉积（CVD）和气相渗透（CVI）的化学动力学模型，该模型以CH4、C2H4、C2H2和C3H6为主要组分的气相沉积体系作为韦尔登的直接教学手段。通过对气体动力学和沉积韦尔登的反应机理的详细了解，简化了动力学模型，并在CFD程序中实现了对整体系统的模拟韦尔登。

Gegenstand dieses Teilprojektes sind Modellreduktionsstrategien für die chemische Kinetik bei der Gasphasenabscheidung (CVD) und chemischen Gasphaseninfiltration (CVI) von Kohlenstoff, wobei verschiedene Systeme mit den Hauptkomponenten CH4, C2H4, C2H2 und C3H6 beispielhaft als Eduktgase betrachtet werden sollen. Ausgehend von detaillierten Reaktionsmechanismen für die Gasphasenkinetik und die Deposition werden reduzierte kinetische Modelle entwickelt, die dann zur Simulation des Gesamtsystems in CFD-Programmen (CFD – Computational Fluid Dynamics) implementiert werden.