Automatisierung der Messabläufe einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung

协同工程机械制造技术[j]， [j], [j], [j]。纳米协调技术的研究与应用：机械加工与强化磨削工艺。[3] [6] [6] [6] [6] [6] [6] [6] [6]麻省理工学院（Mit）的纳米坐标信息机是由德国恩特威克伦的衍射仪组成的。Ihre Funktionsfähigkeit wurde in einem fr<s:1> hen Entwicklungsstadium bereits nachgewiesen。麻省理工学院纳米协调机械können gleichzetitig尺寸和拓扑Größen许可。Wegen der Komplexität großflächiger AFM-Messungen bei microsystemen和nanostructuren和sohlautomatisierte Messabläufe，也包括automatisierte artefakeliminationen和calibrierungen unumgänglich。他提出了一种新的方法，即对样品进行检测，对样品进行鉴定，对样品进行检测，并对样品进行分析。Darauf aufbauend ist in Algorithmus zu entwickeln， der die Reihenfolge der Einzelmessungen gemäß maschinentypischer Kenngrößen der纳米-协调- Messmaschine festlegt。(1) Messdatenvolumina/Messzeiten minimiert werden sollen (1) Messdatenvolumina (1) Messzeiten minimiert werden sollen (2) Messdatenvolumina (3) Messzeiten minimiert werden sollen。基于维数和拓扑结构的信息分析方法。

Koordinatenmessmaschinen für den Mikromaschinenbau kann man durch Kombination geeigneter Nanopositioniersysteme mit Nano-Tastem darstellen. Die Anwendbarkeit der Koordinatenmesstechnik im Nanometerbereich erfordert Forschungsanstrengungen grundlegender Art. Zur Durchführung dieser Grundlagenforschung ist die Entwicklung eines geeigneten Werkzeugs notwendig. Mit der Nanometer- Koordinatenmessmaschine befindet sich ein derartiges Instrument in der Entwicklung. Ihre Funktionsfähigkeit wurde in einem frühen Entwicklungsstadium bereits nachgewiesen. Mit der Nanometer-Koordinatenmessmaschine können gleichzeitig dimensionelle und topografische Größen ermittelt werden. Wegen der Komplexität großflächiger AFM-Messungen bei Mikrosystemen und Nanostrukturen sind sowohl automatisierte Messabläufe, als auch automatisierte Artefakteliminationen und Kalibrierungen unumgänglich. Es muss eine Methodik entwickelt werden, die identifizieren kann, welche Bereiche einer Probe taster- und werkstoffspezifisch zu analysieren sind. Darauf aufbauend ist ein Algorithmus zu entwickeln, der die Reihenfolge der Einzelmessungen gemäß maschinentypischer Kenngrößen der Nanometer-Koordinaten- Messmaschine festlegt. Antast- und Messstrategien müssen taster- und werkstoffspezifisch entwickelt werden, wobei die Messdatenvolumina/Messzeiten minimiert werden sollen. Weiterhin müssen Algorithmen zur Aufteilung der Messdaten in dimensionelle und topografische erarbeitet werden.