3D Laserlithographiesystem

Das Institut für Mikrosensoren，-aktoren und -systeme（IMSAS）forscht auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie，mit einem Fokus der Arbeitsgruppe Vellekoop auf mikrofluorche Systeme und Sensoren für biochemische und medizinische Untersuchungen und einem Fokus der Arbeitsgruppe Lang auf integrierte und flexible Sensoren. Klassische Reinraumprozesse zur Fertigung mikrofluencher und integrierte Systeme韦尔登verstärkt komplementiert und ersetzt durch neuartige，preiswertere und universellere Verfahren.因此，3D-Drucker在一个过程中直接将其结构和系统化，而在经典的光刻基础上的再灌注技术并没有有效的实现韦尔登。Das Verfahren der Zwei-Photonen-Polymerization ermöglicht das direkte Schreiben von Strukturen mit Auflösungen bis zu wenigen hundert Nanometern.上一个世纪，新一代的老一代人开始写剧本，在现实主义的进程中，他们开始制作一个完整的晶圆片。在传感器和微流控系统中，集成中性功能微结构和纳米结构是必要的。这种功能是一种新的微流体和微传感器的元件和系统。

Das Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme (IMSAS) forscht auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie, mit einem Fokus der Arbeitsgruppe Vellekoop auf mikrofluidische Systeme und Sensoren für biochemische und medizinische Untersuchungen und einem Fokus der Arbeitsgruppe Lang auf integrierte und flexible Sensoren. Klassische Reinraumprozesse zur Fertigung mikrofluidischer und integrierte Systeme werden verstärkt komplementiert und ersetzt durch neuartige, preiswertere und universellere Verfahren. So erlauben 3D-Drucker das direkte Schreiben von nahezu beliebigen Strukturen und Systemen in einem Prozessschritt, welche in klassischer lithographiebasierter Reinraumtechnologie nicht effizient realisiert werden können. Das Verfahren der Zwei-Photonen-Polymerisation ermöglicht das direkte Schreiben von Strukturen mit Auflösungen bis zu wenigen hundert Nanometern. Hierbei erreicht die neuste Generation dieser Geräte erstmals Schreibgeschwindigkeiten, die die Bearbeitung einer gesamten Waferfläche in realistischer Prozesszeit gestatten. Dadurch wird die Integration neuartiger funktionaler Mikro- und Nanostrukturen in Sensoren und mikrofluidische Systeme möglich. Diese Funktionalität bietet eine nahezu einzigartige Möglichkeit neue Bauelemente und Systeme in der Mikrofluidik und Mikrosensorik herzustellen und zu erforschen.