Vermeidung von Fehlantastungen an MikroStrukturen durch Erkennung von Fremdpartikeln mittels spektraler Dekomposition

研究人员的工作是中性的，并且在特定的设计基础上对金属和自由基结构进行了适当的调整，这些调整在金属的生产过程中必须是完整的韦尔登。Die Anwendung wissenschaftlich fundierter programmien und Methoden in der industriellen Fertigung führt auf diese Weise zur Reduzierung von Fehlmessungen und zugleich zur Verringerung der Messunsichereles.玻璃、塑料、硅和其他材料构成的具有潜力的微系统技术在过去几年里一直保持着领先地位。Die Prüfung der hohen Anzahl geometrischer Qualitätsmerkmale an Mikrokomponenten bedingt hohe Messgeschwindigkeiten und grose Messbereiche bei gleichzeitig geringster Messsunsicherkle. Die Erfasung dieser Merkmale im Produktionsprozess erfordert berührungslose optische Messverfahren in Verbindung mit leistungsfähigen Bildverarbeitungsaltaxmen. Mit sinkenden Strukturgrößen gewinnen Störungen in Form von Fremdparkeln an Einfluss auf das Messergebnis and verursachen Fehlmessungen，die Schaftliche Folgen haben.

Ziele des Forschungsvorhabens sind neuartige Verfahren und Algorithmen zur sicheren Trennung von Messobjekt- und Fremdpartikelstrukturen auf der Basis der spektralen Dekomposition, Diese sollen in die produktionsumfeldgerechte Messkette integriert werden. Die Anwendung wissenschaftlich fundierter Strategien und Methoden in der industriellen Fertigung führt auf diese Weise zur Reduzierung von Fehlmessungen und zugleich zur Verringerung der Messunsicherheit. Das Einsatzpotenzial mikrosystemtechnischer Komponenten aus Glas, Kunststoff, Silizium und anderen Werkstoffen hat sich in den vergangenen Jahren massiv erhöht. Die Prüfung der hohen Anzahl geometrischer Qualitätsmerkmale an Mikrokomponenten bedingt hohe Messgeschwindigkeiten und große Messbereiche bei gleichzeitig geringster Messunsicherheit. Die Erfassung dieser Merkmale im Produktionsprozess erfordert berührungslose optische Messverfahren in Verbindung mit leistungsfähigen Bildverarbeitungsalgorithmen. Mit sinkenden Strukturgrößen gewinnen Störungen in Form von Fremdpartikeln an Einfluss auf das Messergebnis und verursachen Fehlmessungen, die wirtschaftliche Folgen haben.