Synthese neuer Phasen im ternären System B-C-N

In zurückliegenden Berichtszeitraum ist es gelungen，bor-，kohlenstoff-and stickstoffhaltige Schichten mit Hilfe des PACVD-Verfahrens herzustellen. Die geplanten Forschungsvorhaben gelten der Fortsetzung der bisher durchgeführten Untersuchungen.从吡啶硼中提取的氢可使TEM具有更好的Zusammensetzung和Struktur eingehender charakterisiert韦尔登。本文详细探讨了植物生理特性的影响因素，并对c-BN bzw的生长机理进行了探讨。c-BCN在CVD技术的基础上，通过质谱仪的帮助进行了韦尔登。在这种情况下，BCN-Schichten的相位测量可以通过等离子体中产生的原子吸收来进行，而不需要进行相位测量。在这个Zusammenhang is geplant，die tzrate in Abhängigkeit von Plasmazusammensetzung（Verhältnis Ar/H2），Druck，Mikrowellenleistung und Substratemperatur zu untersuchen.Für diese Untersuchungen ist es außerdem von Vorteil，mit größerer Mikrowellenleistung und höherer Plasmazu arbeiten.因此，使用一个微通道向下流的CVD设备可以韦尔登，使用一个非常稳定的等离子体，而不能使培养相韦尔登。

Im zurückliegenden Berichtszeitraum ist es gelungen, bor-, kohlenstoff- und stickstoffhaltige Schichten mit Hilfe des PACVD-Verfahrens herzustellen. Die geplanten Forschungsvorhaben gelten der Fortsetzung der bisher durchgeführten Untersuchungen. Die aus Pyridinboran hergestellten Schichten sollen mittels TEM bezüglich ihrer Zusammensetzung und Struktur eingehender charakterisiert werden. Außerdem sind detaillierte Untersuchungen der physikalischen Eigenschaften der Schichten geplant.Von großem Interesse ist der Mechanismus der Bildung von c-BN bzw. c-BCN bei der CVD-technischen Herstellung der BCN-Schichten, der mit Hilfe der Massenspektrometrie bestimmt werden soll.In den bisherigen Arbeiten hat sich gezeigt, daß die Phasenzusammensetzung der BCN-Schichten erheblich von der Ätzwirkung des im Plasma gebildeten atomaren Wasserstoffs auf die nicht- kubischen Phasen abhängig ist. In diesem Zusammenhang ist geplant, die Ätzrate in Abhängigkeit von Plasmazusammensetzung (Verhältnis Ar/H2), Druck, Mikrowellenleistung und Substrattemperatur zu untersuchen.Für diese Untersuchungen ist es außerdem von Vorteil, mit größerer Mikrowellenleistung und höherer Plasmadichte zu arbeiten. Daher soll die CVD-Anlage mit einer Mikrowellen-Down-StreamQuelle ausgerüstet werden, die die Erzeugung eines sehr dichten Plasmas ermöglicht, mit dem die Bildung nicht-kubischer Phasen unterbunden werden kann.