Microwave switches on the basis of polycrystalline diamond films

在多晶石材的直径的基础上，它们的特征是微观机械的特性。他说：“这是一件非常重要的事情，我不知道该怎么做。”在隔离的情况下，我不会被隔离，也不会被隔离。他说：“我和他的家人都是这样的人，他们是真正的金属家。”在理想材料中的理想材料中，钻石是一种自给自足的材料，它是一种新的技术，是一种新的技术。他说：“这是一种很重要的东西，它的机械结构也很好。Zur演示和功能Sollen für einige典型的Mikrowellenanwendungen Schalt Dieser Art Enworfen和Gettet被发现。DER SCALTER SOL以积分器形式存在。在此基础上，我们提供了一种新型的钝化器。

Thema dieses Vorhabens ist der Entwurf, die Herstellung und dieCharakterisierung von mikromechanischen Schaltern fürMikrowellenanwendung auf der Basis von polykristallinenDiamantschichten. Als Schalter für Mikrowellen kommen bisherhauptsächlich Halbleiterbauelemente wie Transistoren oder pin-Dioden zum Einsatz, die jedoch neben der hohen Schaltgeschwindigkeit auch einen hohen Durchlasswiderstand und Fehlströme durch Ladungspeicherung aufweisen. Dies führt zu unzureichender Isolation im ausgeschalteten Zustand und Dämpfung im eingeschalteten Zustand. Diese und andere Nachteile lassen sich durch den Einsatz von mikromechanischen Schaltern umgehen, welche konventionell zumeist aus Metall auf einem Halbleitersubstrat realisiert werden. Diamant ist aufgrund seiner außergewöhnlichen Eigenschaften ein ideales Material für mikromechanische Komponenten, daher soll im Rahmen dieses Projektes ein vollständig aus polykristallinem Diamant bestehender Mikroschalter entworfen und realisiert werden, um die Vorteile dieser Technologie demonstrieren zu können. Dabei muß das Bauelement sowohl in Hinsicht auf die Hochfrequenzeigenschaften als auch auf das mechanische Schaltverhalten untersucht und optimiert werden. Zur Demonstration der Funktion sollen für einige typische Mikrowellenanwendungen Schalter dieser Art entworfen und getestet werden. Der Schalter soll in integrierter Form aufgebaut werden. Die für diese Anwendung entwickelte Technologie kann auch als Basis für die Realisierung weiterer aktiver oder passiver Bauelemente dienen.