Ionen-/Atomstrahl-gestützte Synthese von epitaktischen Galliumnitrid-Schichten

在Anwendung NiederEnertitischer Stickstoffion en auf Unterschiedlichen substren herzustellen下，Forschungsvorhabens ist es，epetaktische Galliumnitid-Schichten Hoher Structureller Quality auf Unterschiedlicen Substren Mittels des Verfahrens der Ionenenstrahl-Unterstützten Desitels Des Forschungsvorhabens ist es，epetaktische Galliumnitid-Schichten-Schichten hoher Structureller auf unterschiedlicen substren mittels des Verfahrens der Ionenenstrahl-unterstützten.在这两种情况下，所有的经济活动都发生了变化，这是一种新的、更好的生活方式。在此基础上进行了位相选择和织构处理，并进行了分析。

Ziel des Forschungsvorhabens ist es, epitaktische Galliumnitrid-Schichten hoher struktureller Qualität auf unterschiedlichen Substraten mittels des Verfahrens der Ionenstrahl-unterstützten Deposition unter Anwendung niederenergetischer Stickstoffionen auf unterschiedlichen Substraten herzustellen. Insbesondere soll einerseits, aufbauend auf den ersten Ergebnissen, das Herstellungsverfahren in Abhängigkeit von den Depositions- und Bestrahlungsparametern optimiert werden und andererseits die physikalischen Grundprozesse bei der ionengestützten Synthese der GaN-Schichten untersucht werden. Insbesondere soll die Phasenselektion und Texturmanipulation bei der Ionenbestrahlung sowie die Ionenstrahl-unterstützte Epitaxie analysiert werden.