Konstruktive Darstellung von dreidimensionalen periodischen Nanostrukturen durch Ionenstrahl-gestützte Abscheidung

使用离子束辅助沉积三维周期性纳米结构的建设性表示

• 批准号: 5413380
• 负责人: Professor Dr. Bernd Rauschenbach
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5413380?language=en
• 关键词: Konstruktive; Darstellung; von; dreidimensionalen; periodischen

Das Wachstum von dreidimensionalen Nanostrukturen kann mit einer neuen Methode, der Deposition unter streifendem Teilcheneinfall bei gleichzeitiger Substratrotation realisiert werden. Das Verfahren eignet sich zur Darstellung von Strukturen vielfältiger Geometrien (z.B. Säulen, Spiralen oder Sparren) mit lateralen Dimensionen 30nm, deren vertikale Abmessungen durch die Schichtdicke bestimmt sind. Es wird erwartet, dass sich diese Strukturen durch neue physikalische Eigenschaften (Elastizität, Brechzahl) auszeichnen. Innerhalb dieses Teilprojektes sollen die Parameterfelder sowie die Mechanismen des Nanostrukturenwachstums erfaßt werden. Dabei soll erstmals die Ionenstrahl-Sputterdeposition zur Anwendung kommen. Durch die Variation der Prozeßparameter sollen Geometrie, Phasenzusammensetzung und Kristallinität der Nanostrukturen gezielt beeinflusst werden. Weiterhin sollen regelmäßige Anordnungen von Nanostrukturen auf einem vorstrukturierten Substrat hergestellt werden. Es sollen die optischen und mechanischen Eigenschaften insbesondere der chiralen Nanostrukturen untersucht werden.

本文介绍了一种新的纳米结构材料的制备方法，即纳米结构材料的纳米结构材料。[das Verfahren eignet sich dur Darstellung von Strukturen viELELLälTiger Geislien(Z.B.Säulen，Spiralen oder Sparren)MIT lateralen Dimensionen 30 nm，Deren vertikale AbMessungen dch die die Schichtdicke bstimt sind.这是正确的，这是Dass的Strukturen Dass dch Neue Physikalische Eigenschaften(Elastisität，Brechzahl)oszeichnen。从纳米结构的角度来看，这是一种机械制造技术。所有人都死了--溅射沉积了安文东人。研究了纳米结构参数的变化规律，提出了一种新的纳米材料的结构和性能。他说：“这是一件非常重要的事情。”在此基础上，提出了一种新的纳米材料的结构和性能。