Entwicklung eines Mess- und Antriebssystems für eine 3D-Präzisions-Messmaschine

Die räumliche Vermessung komplexer Körpergeometrien mit Nanometerauflösung wird künftig in der Fertigungstechnik sowie in der Mikromechanik und Mikrosystemtechnik von grundlegender Bedeutung sein. Für Körpergeometrien mit linearen Abmessungen von 0.1 mm bis 1 dm sind jedoh keine hochaflösenden und hochgenauen 3D-Messverfahren und Messgeräte bekannt. Das Vorhaben sieht deshalb die Schaffung der Grundlagen für eine 3D-Präzisions-Messmaschine vor.这韦尔登平面探测器在整体探测中被集成激光干涉测量仪探测到。Damit韦尔登die Grundlagen für die rumliche Vermessung von Körpergeometrien mit einem Messvolumen von（100x100x10）mm³ gelegt.利用激光干涉测量Antastsystem对z-Richtung中的Probenantastung进行测量，将得到一个3D-Präzisions-Messmaschine geschaffen。Als geeignete Antriebslösungen韦尔登luftgeführte planare Direktantriebe untersucht. Weiterhin sollen theoretische Grundlagenuntersuchungen zur Entwicklung eines magnetisch geführten planaren Antriebssystems durchgeführt und in weesentlichen Parameter mestechnisch unterstützt韦尔登.

Die räumliche Vermessung komplexer Körpergeometrien mit Nanometerauflösung wird künftig in der Fertigungstechnik sowie in der Mikromechanik und Mikrosystemtechnik von grundlegender Bedeutung sein. Für Körpergeometrien mit linearen Abmessungen von 0,1 mm bis 1 dm sind jedoch keine hochauflösenden und hochgenauen 3D-Messverfahren und Messgeräte bekannt. Das Vorhaben sieht deshalb die Schaffung der Grundlagen für eine 3D-Präzisions-Messmaschine vor. Es werden planare Antriebskonzepte untersucht bei gleichzeitiger Integration laserinterferometrischer Messverfahren in die Gesamtkonzeption. Damit werden die Grundlagen für die räumliche Vermessung von Körpergeometrien mit einem Messvolumen von (100x100x10) mm³ gelegt. Durch die Ergänzung mit einem laserinferometrischen Antastsystem für die Probenantastung in z-Richtung wird eine 3D-Präzisions-Messmaschine geschaffen. Als geeignete Antriebslösungen werden luftgeführte planare Direktantriebe untersucht. Weiterhin sollen theoretische Grundlagenuntersuchungen zur Entwicklung eines magnetisch geführten planaren Antriebssystems durchgeführt und in wesentlichen Parametern messtechnisch unterstützt werden.