Funktionsbezogene Bewertung von Nanorauheiten auf fertigungsrelevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren - Phase III

该项目已通过Streulichtmessverfahren实现了纳米结构的三维特性，并通过Streulichtmessverfahren实现了相关的Oberflächen技术。从这些信息中我们可以找到一些功能性的信号韦尔登。Streulichtverfahren sind dafür als besonders vorteilhaft anzusehen，da sie bei hoher Sensitivität gleichzeitig robust，schnell，berührungslos und flächendeckend arbeiten können und sich damit für den produktionsnahen bis hin zum produktionsintegrierten Einmittelbar anbieten.但由于没有任何扭曲，因此在农业生产中对纳米材料的一致性要求也很高。Im Projektvorhaben sollen deshalb Konzeptionen erarbeitet韦尔登，该bisherige converfahren nunmehr für die Prüfung von Nanostrukturen auf a）großen Fertigungsflächen mit Ausdehnungen bis in den m2 -Bereich and B）Mikrosystemkomponenten qualifizieren.该测试仪必须能够实现韦尔登测试，即与光栅扫描显微镜（AFM）的组合能够实现协同效应和信息融合。Die abzuleitenden Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen sollen consistent für alle Anwendungsfelder und normungsrelevant sein.

Das Projektvorhaben zielt auf Strategien zur 3-D- Charakterisierung von Nanostrukturen auf fertigungstechnisch relevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren. Aus den Messdaten sollen Rauheitskenngrößen sowie funktionsbezogene Kenngrößen abgeleitet werden. Streulichtverfahren sind dafür als besonders vorteilhaft anzusehen, da sie bei hoher Sensitivität gleichzeitig robust, schnell, berührungslos und flächendeckend arbeiten können und sich damit für den produktionsnahen bis hin zum produktionsintegrierten Einsatz unmittelbar anbieten. Derzeit existieren aber noch keine Streulichtverfahren, die eine konsistente Bewertung von Nanorauheiten sowohl in der Fertigung sehr großer als auch sehr kleiner Applikationsflächen zulassen. Im Projektvorhaben sollen deshalb Konzeptionen erarbeitet werden, die bisherige Laborverfahren nunmehr für die Prüfung von Nanostrukturen auf a) großen Fertigungsflächen mit Ausdehnungen bis in den m2 -Bereich und b) Mikrosystemkomponenten qualifizieren. Die Verfahren sollen gleichzeitig so konzipiert werden, dass die Kombination mit Rasterkraftmikroskopie (AFM) als lokalem Verfahren zu Synergieeffekten und fusionsfähigen Messdaten führt. Die abzuleitenden Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen sollen konsistent für alle Anwendungsfelder und normungsrelevant sein.