Finite-Element-Modelle zur Berechnung von Delaminationen dünner Schichten

Dünne Festkörper-Filme以及Schutzschichten auf Substrten是一种新的技术方法。死于von Schneidwerkzeugen von Schneidwerkzeugen。扩散的是金属材料和金属材料，它们是沙尔特克雷森的整体，也是最优的聚合物。在这一点上，我们不能把它们放在一起，而不是把它们分开。在Verbindung MIT Versagen and den Grizschichten中出现了稳定的问题。在DEM Forschungsvorhaben soll das problem der Delamationen von dünnen Schichten auf Substratform Gundstrom in DEM Forschungsvorhaben soll das the Delamationationen von dünnnen Schichten auf Substratial grundous传说中没有这样的问题。[中英文摘要][晓雨-0920交稿][晓雨-0920交稿]。他说：“我的问题很严重。”在有限元方法中，我们用有限元方法计算了L和拉赫曼的数学模型，并在此基础上建立了系统的数学模型。

Dünne Festkörper-Filme als Schutzschichten auf Substraten werden bei verschiedenen Technologien angewendet. Dies sind z.B. verschleißfeste Beschichtungen von Schneidwerkzeugen. Diffusionssperren zwischen Substraten und metallischen Leitern bei integrierten Schaltkreisen, Beschichtungen auf optischen Polymeren oder keramische Beschichtungen als Schutz bei hohen Temperaturen. Die unterschiedlichen Temperaturdehnkoeffizienten führen insbesondere bei der Herstellung zu entsprechenden Temperaturbelastungen und damit zu Spannungen in den einzelnen Komponenten. Bei hinreichend großen Druckspannungen in den Beschichtungen ergeben sich Stabilitätsprobleme in Verbindung mit Versagen an den Grenzschichten. In dem Forschungsvorhaben soll das Problem der Delaminationen von dünnen Schichten auf Substratmaterialien grundlegend untersucht werden. Auf Grundlage der Kontinuumsmechanik soll eine 2D-Theorie für dünne abhebende Schichten entwickelt werden. Bei Einbeziehung von Delaminationswachstum liegt ein freies Randwertproblem vor. Aus den numerischen Lösungen im Rahmen der Finite-Element-Methode sollen Erkenntnisse des komplizierten mechanischen Prozesses hergeleitet werden, um Maßnahmen zur Erhaltung der Funktionsfähigkeit der betrachteten Systeme zu gewinnen.