Untersuchung der thermodynamischen Eigenschaften von CVD-Vorläufern

在SPP 1119的测试中，将测试新的CVD/CVS前体的合成和进一步的实验演示。Um nun einetechnische Anwendung zu ermöglichen，sind quickische Daten dieserVorläufer notwendig; diese sind zentral bei der Auslegung von Verdampfern.Ebenso musss die Langzeitstabilität beannt sein，wenn bei technischen ProzessenVerdampfer über Tage betrieben韦尔登sollen.在最大的预冲压力下，几乎所有的数据都要处理，也不应该在一个具有高压力的预冲压力下进行处理。Im Rahmen des beantragten Projektes sollen insbesondereSublimations- und Dampfdruckkurven für besonders viel versprechende，erfolgreicheingesetzte Precursoren aus dem SPP bestimmt韦尔登，ebenso wieDiffusionskoeffizienten und Langzeitstabilitäten bei typischenVerdampfertemperaturen.对于系统而言，在CVD反应器中的Lösungen和verdampft韦尔登中，sollen auch die Aktivitätskoeffizientenermittelt韦尔登，并且需要启动液体注射系统。Als Grundlage für ein neues Verdampferkonzept soll für einigeCVD-Precursoren die Verdampfung aus Lösungen ionischer Fluide untersucht韦尔登.Ein solches Verfahren hätte den Vorteil，dass Verdampfer für Flüssigkeiteneinsetzbar wären，ohne dass unerwünschte zusätzliche Komponenten in die Gasphaseeingebracht韦尔登.

Im Verlauf des SPP 1119 wurden verschiedene neue CVD/CVS Precursorensynthetisiert und deren erfolgreicher Einsatz demonstriert. Um nun einetechnische Anwendung zu ermöglichen, sind thermodynamische Daten dieserVorläufer notwendig; diese sind zentral bei der Auslegung von Verdampfern.Ebenso muss die Langzeitstabilität bekannt sein, wenn bei technischen ProzessenVerdampfer über Tage betrieben werden sollen. Aufgrund des niedrigenDampfdruckes der meisten Vorläufer sind selten verlässliche Daten vorhanden,auch bereitet die Handhabung geringer Pulvermengen in einem Verdampfer häufigSchwierigkeiten. Im Rahmen des beantragten Projektes sollen insbesondereSublimations- und Dampfdruckkurven für besonders viel versprechende, erfolgreicheingesetzte Precursoren aus dem SPP bestimmt werden, ebenso wieDiffusionskoeffizienten und Langzeitstabilitäten bei typischenVerdampfertemperaturen. Für Systeme, bei denen Lösungen in den CVD-Reaktoreingebracht und verdampft werden, sollen auch die Aktivitätskoeffizientenermittelt werden, anhand derer entsprechende Liquid Injection Systeme ausgelegtwerden können. Als Grundlage für ein neues Verdampferkonzept soll für einigeCVD-Precursoren die Verdampfung aus Lösungen ionischer Fluide untersucht werden.Ein solches Verfahren hätte den Vorteil, dass Verdampfer für Flüssigkeiteneinsetzbar wären, ohne dass unerwünschte zusätzliche Komponenten in die Gasphaseeingebracht werden.