Fabrication of Nanoporous Alumina with Long Range Order by Block Copolymer Lithography

Selbstgeordnetes Poröses Aluminiumoxid，请在Gittern MIT Polykristallinem Ordnungsgrad中并行Poren angeordnet，它是通过其他材料平台für Anwendungen Wie Stofftrennung，StoffSpeicherung and Katalyse Sowie für die合成的。Selbstgeordnetes Poröses Aluminiumoxid MIT Gitterkonstanten gröbeter er 55 nm kann duch einen Umständlichen，zweistufigen Prozess，der sgenannten Milden阳极氧化，以及Hartanodisation erhalen。在这种情况下，膜的过敏机制不稳定，而且还不够理想。Das Ziel des vorgeschlagenen Projektes ist die Kombination von阳极化和嵌段共聚物-光刻zur Herstellung von Nanorösen氧化铝氧化膜MIT Gitterkonstanten Kleiner 50 nm，die MIT konvenonellen Lithogonellen Lithoden niht Zugänglich Sind。他说：“这是一件很重要的事情。DA在嵌段共聚物-模板中的定义持续时间是在Könnnen，Sollte sich和Ordnungsgrad der因此更好地实现了一个有意义的词服务于Lassen。我们的工作内容包括以下几个方面：第一个是工作，第二个是工作，第二个是工作时间。

Selbstgeordnetes poröses Aluminiumoxid, bestehend aus parallelen Poren angeordnet in Gittern mit polykristallinem Ordnungsgrad, ist eine vielseitige Materialplattform für Anwendungen wie Stofftrennung, Stoffspeicherung und Katalyse sowie für die Synthese eindimensionaler Nanostrukturen. Selbstgeordnetes poröses Aluminiumoxid mit Gitterkonstanten größer 55 nm kann durch einen umständlichen, zweistufigen Prozess, der sogenannten milden Anodisation, oder durch Hartanodisation erhalten werden. In letzterem Fall sind die Membranen allerdings mechanisch instabil, und ihre optischen Eigenschaften sind insuffizient. Das Ziel des vorgeschlagenen Projektes ist die Kombination von Anodisation und Blockcopolymer-Lithographie zur Herstellung von nanoporösen Aluminiumoxidmembranen mit Gitterkonstanten kleiner 50 nm, die mit konventionellen Lithographiemethoden nicht zugänglich sind. Diese Kombination erlaubt es, den zeitaufwendigen ersten Schritt der milden Anodisation zu umgehen. Da in Blockcopolymer-Templaten Defekte durch Tempern geheilt werden können, sollte sich der Ordnungsgrad der so erhaltenen Porenarrays verglichen mit etablierten Methoden signifikant verbessern lassen. Außerdem sollte es auf diese Weise möglich sein, hochgeordnete, dünne poröse Aluminiumoxidfilme auf funktionalen Substraten zu generieren, auf denen keine Aluminiumschicht abgeschieden werden kann, die dick genug für den intrinsischen Selbstordnungsprozeß während des Porenwachstums ist.