Nanocomposite piezoresistive thin films of metal containing amorphous carbon

在Deutsch-israelischen Dutsch-israelischen Ko操作中，异质基因Dünschichten MIT具有压阻特性和温度不变的特性。他说：“这是一件非常重要的事情。”我们是德国的一种新型金属镍(Ni：A-C：H)。这是一种新的金属结构，它是一种新的金属结构。我是拉赫曼人，他的计划是30个错误。这是一种由金属材料制成的金属制品，每件15件。温度为50ppm/K，为50ppm/K。我们用PECVD的方法从血浆中分离出一种新的蛋白质。他在Aufklärung der Strukturellen，Physikalischen Ursachen für die Hohe Empfindlichkeit der Schichten。我们将在此基础上进行进一步的研究，并将S的研究成果付诸实践。这是一项重要的工作，也是一项重要的工作。

In dieser deutsch-israelischen Kooperation werden heterogene Dünnschichten mit hoher piezoresistiver Empfindlichkeit und temperaturinvarianter Leitfähigkeit hergestellt und untersucht. Die Kombination aus hoher Dehnungsempfindlichkeit und konstantem Widerstand ist hochattraktiv für Sensorzwecke. Wir fokussieren die Arbeit auf nickelhaltige Kohlenstoffschichten (Ni:a-C:H). Die Schichten bestehen aus kristallinen Metallclustern, die von wenigen atomaren Lagen graphitartigem Kohlenstoff umhüllt sind. Im Rahmen dieses Projekts wurden bis dato Dehnungsempfindlichkeiten (k- Faktoren) von bis zu 30 erreicht. Dies bedeutet eine Steigerung um den Faktor 15 gegenüber den heute verwendeten metallischen DMS-Materialien. Der Temperaturkoeffizient des Widerstands (TKR) kann auf 050 ppm/K in einem weiten Temperaturbereich eingestellt werden. Es werden plasmaphysikalische Beschichtungsprozesse wie PECVD mit kohlenstoffhaltigen Precursorgasen sowie Co- Sputterverfahren eingesetzt. Die Herausforderung besteht in der Aufklärung der strukturellen, physikalischen Ursachen für die hohe Empfindlichkeit der Schichten. Weitere aufwendige Querschnitts-TEM Untersuchungen werden durchgeführt um die entdeckten unterschiedlichen Zonen und die säulenförmige Wachstumsstruktur der Nickelpartikel zu verifizieren. Des Weiteren sind Untersuchungen der Schichtspannungen, der thermischen Ausdehnungskoeffizienten sowie der frequenzabhängigen elektrischen Leitfähigkeit mit und ohne Belastung geplant.