Couches antireflets/passivation pour les sondes thermiques à base de semiconducteurs III-V pour les applications à forts champs magnétiques

La meure de la Température de Manière Précise Est Critique Pour Scertain Applications Médicales，tel que lestraitements et Les Analyses Par Imagerieçrésonance Magnétique(IRM)。或者，Les Sondes Thermiques Standard stelle que les RTD et les热电偶Non Sont Pas Compatible avec les Applications Destinéesçfctionnerdans des Forts Champs Magnétique。事实上，服装和服装使用了S和L对1.5特斯拉的命令，以及对S(3特斯拉)形象的追求。LaCompagnie Opsens Medical a déjàdédéDevelopment pédes sondes thermiquesàfitique basées sur le Preme de laarivance de la bande interdite de Gaas en Function de la Température et qui sont Actuellement Utilisées Pourdes Champs allant Ju‘à1.5 Tesla。Pour Réaliser des Sondes Thermiques Capables de Fonctionneràdes Chamsmagnétique Enore plélevéS，Opsens Proposed de Replacer le Cristal de Gaas Par une Mememducteers III-V obtenue Parépataxie.这是一种新型的表面处理技术，它可以用来分析吸收(约890 nm)的砷化镓，或用来测量温度。Dans ce项目，在建议的发展PECVD de nouveaux matériaux qui auront des propriététéS optique spécifique quperpermetent de réaliser des沙发反冲刷倒Les Sondes sondes thermiquesàbase de膜砷透射剂de réduire la reéduire Tout Elevant振荡du Fabry Perrot dans la bande880-900 nm。

La mesure de la température de manière précise est critique pour certaines applications médicales, tel que lestraitements et les analyses par imagerie à résonance magnétique (IRM). Or, les sondes thermiques standardstelles que les RTD et les thermocouples ne sont pas compatibles avec les applications destinées à fonctionnerdans des forts champs magnétiques. Actuellement, les appareils IRM utilisent des champs élevés de l'ordre de1.5 Tesla, et la tendance va vers des champs plus élevés (3 Tesla) afin d'améliorer la résolution des images. Lacompagnie Opsens Medical a déjà développé des sondes thermiques à fibre optique basées sur le principe de lavariation de la bande interdite de GaAs en fonction de la température et qui sont actuellement utilisées pourdes champs allant jusqu'à 1.5 Tesla. Pour réaliser des sondes thermiques capables de fonctionner à des champsmagnétiques encore plus élevés, Opsens propose de remplacer le cristal de GaAs par une membrane desemiconducteurs III-V obtenue par épitaxie. La réalisation de ce dispositif, est bloquée par le fait que laréponse spectrale de ces membranes présentent des grandes oscillations au voisinage du seuil d'absorption(~890 nm) de GaAs, or c'est cette région qui sert pour la mesure de la température. Dans ce projet, on proposede développer par PECVD des nouveaux matériaux qui auront des propriétés optiques spécifiques quipermettent de réaliser des couches antireflets pour les sondes thermiques à base de membrane GaAs etpermettant de réduire la réflectance tout en enlevant les oscillations du Fabry Perrot dans la bande 880-900 nm.