Bio-inspired micro-fluidic angular-rate sensor for vestibular prostheses.
Bio-inspired micro-fluidic angular-rate sensor for vestibular prostheses.
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DOI：
10.3390/s140713173
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发表时间：
2014-07-22
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Georgiou J
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Andreou CM;Pahitas Y;Georgiou J
本文提出了一种基于自然前庭半规管工作方式的角速率传感的替代方法，即利用流体的惯性质量来使传感结构在旋转时变形。所提出的陀螺仪是在商业上可用的MEMS工艺中制造的，该工艺允许在包含传感结构的体微机械加工的硅衬底上的刻蚀玻璃层中实现微流控通道。概念验证装置的测量结果表明，角速度灵敏度小于1°/S，与自然前庭系统的角速度灵敏度相似。通过避免使用当今最先进的陀螺仪中使用的持续激励的振动质量，获得了300μW的超低功耗，从而使其适合植入。
This paper presents an alternative approach for angular-rate sensing based on the way that the natural vestibular semicircular canals operate, whereby the inertial mass of a fluid is used to deform a sensing structure upon rotation. The presented gyro has been fabricated in a commercially available MEMS process, which allows for microfluidic channels to be implemented in etched glass layers, which sandwich a bulk-micromachined silicon substrate, containing the sensing structures. Measured results obtained from a proof-of-concept device indicate an angular rate sensitivity of less than 1 °/s, which is similar to that of the natural vestibular system. By avoiding the use of a continually-excited vibrating mass, as is practiced in today's state-of-the-art gyroscopes, an ultra-low power consumption of 300 μW is obtained, thus making it suitable for implantation.
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DOI：
10.3390/s101109581
发表时间：
2010
期刊：
Sensors (Basel, Switzerland)
影响因子：
--
作者：
Wu LF;Peng Z;Zhang FX
通讯作者：
Zhang FX
影响因子：
3.8
作者：
Gong, WS;Merfeld, DM
通讯作者：
Merfeld, DM
DOI：
10.3390/s130201651
发表时间：
2013-01-28
期刊：
Sensors (Basel, Switzerland)
影响因子：
--
作者：
Wang W;Lv X;Sun F
通讯作者：
Sun F
DOI：
10.3390/s111110894
发表时间：
2011
期刊：
Sensors (Basel, Switzerland)
影响因子：
--
作者：
Wang W;Liu J;Xie X;Liu M;He S
通讯作者：
He S
影响因子：
2.7
作者：
Chen, Nannan;Tucker, Craig;Liu, Chang
通讯作者：
Liu, Chang