New leak assembly based on fluidic nanochannels
New leak assembly based on fluidic nanochannels
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基于流体纳米通道的新型泄漏组件
DOI：
10.1116/1.4960646
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发表时间：
2016-08
影响因子：
2.9
通讯作者：
Dong Dong
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Aiqing Zhu;Yongheng Zhao;Xudi Wang;Yu Wang;Wei Wei;Keqiang Qiu;Dong Dong
制造特征尺寸为1.280 nm的Fluoride纳米通道并将其设计为泄漏组件，其中纳米通道形成在硅晶片上并用Pyrex®玻璃封闭。用扫描电镜表征了其几何尺寸
Fluidic nanochannels with a characteristic dimension of ∼280 nm were fabricated and designed as a leak assembly, where the nanochannels were formed on silicon wafers and enclosed with Pyrex® glass. The geometric dimensions were characterized by scanning e
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