Formation of silicon-on-insulator layer with midair cavity for meniscus force-mediated layer transfer and high-performance transistor fabrication on glass
Formation of silicon-on-insulator layer with midair cavity for meniscus force-mediated layer transfer and high-performance transistor fabrication on glass
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形成具有半空气腔的绝缘体上硅层，用于弯月面力介导的层转移和玻璃上的高性能晶体管制造
DOI：
10.7567/jjap.54.086503
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and S. Higashi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Akazawa;K. Sakaike;and S. Higashi
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两个平行平面之间液桥的弯液面力（精确解与近似解的比较）
DOI：
10.1299/kikaic.78.2266
发表时间：
2012
期刊：
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. C
影响因子：
--
作者：
H. Taura;S. Kaneko
通讯作者：
S. Kaneko
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影响因子：
4
作者：
J. Tsai;Chun‐Yao Huang;Y. Tai;Huang;F. Su;F. Luo;H. Tuan
通讯作者：
H. Tuan
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影响因子：
3.2
作者：
M. Cai;D. Qiao;L. S. Yu;S. Lau;C. P. Li;L. Hung;T. E. Haynes;K. Henttinen;I. Suni;V. Poon;T. Marek;J. Mayer
通讯作者：
J. Mayer
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影响因子：
--
作者：
R. Charavel;J. Raskin
通讯作者：
J. Raskin
二氧化硅牺牲层的氢氟酸蚀刻I．
DOI：
--
发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
--
作者：
D. Monk;D. Soane;R. Howe
通讯作者：
R. Howe