Impact of preparation conditions on the properties of materials for replica stamps
Impact of preparation conditions on the properties of materials for replica stamps
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制备条件对复制印章材料性能的影响
DOI：
10.1116/1.4991868
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Scheer H.-C.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Papenheim;W. Eidemüller;C. Steinberg;A. Mayer;Scheer H.-C.
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用于纳米压印的扁平且高度柔性的复合印模、其制备及其局限性
DOI：
10.1116/1.4965703
发表时间：
2016
期刊：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
影响因子：
--
作者：
M. Papenheim;A. Mayer;S. Wang;C. Steinberg;H.-C. Scheer
通讯作者：
H.-C. Scheer
影响因子：
2.3
作者：
Klukowska, Anna;Kolander, Anett;Schoeftner, Rainer
通讯作者：
Schoeftner, Rainer
DOI：
10.1007/s00339-015-9301-2
发表时间：
2015
期刊：
Applied Physics A
影响因子：
--
作者：
M. Papenheim;K. Dhima;S. Wang;C. Steinberg;H.-C. Scheer
通讯作者：
H.-C. Scheer
使用柔性复合印章降低失败风险
影响因子：
2.3
作者：
M. Papenheim;Wolfgang Eidemüller;Si Wang;C. Steinberg;H. Scheer
通讯作者：
H. Scheer
影响因子：
2.3
作者：
Schleunitz, Arne;Spreu, Christian;Schift, Helmut
通讯作者：
Schift, Helmut