Flexible Silicon Triaxial Tactile Imager with Integrated 800μm-Pitch Sensor Pixel Structures on a Diaphragm
Flexible Silicon Triaxial Tactile Imager with Integrated 800μm-Pitch Sensor Pixel Structures on a Diaphragm
复制标题
隔膜上集成 800μm 节距传感器像素结构的柔性硅三轴触觉成像仪
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
F.Oohira
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Takao;H.Okada;M.Ishida;T.Suzuki;F.Oohira
登录
查看更多内容
坚固且灵敏的硅触觉成像仪，在压敏电阻像素上具有单独形成的 SU-8 保护层
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
作者：
H.Takao;et al.
通讯作者：
et al.
使用 7×7 压电 FET 阵列提取的化学镀镍凸块下的应力分布
DOI：
10.1109/icsens.2010.5690152
发表时间：
2010
期刊：
2010 IEEE Sensors
影响因子：
--
作者：
B. Lemke;R. Baskaran;S. Ganapathysubramanian;O. Paul
通讯作者：
O. Paul
DOI：
10.1073/pnas.0401918101
发表时间：
2004-07-06
影响因子：
11.1
作者：
Someya, T;Sekitani, T;Sakurai, T
通讯作者：
Sakurai, T
气动膨胀单隔膜结构硅智能触觉图像传感器
DOI：
10.1109/mems.2004.1290719
发表时间：
2004
期刊：
17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest
影响因子：
--
作者：
H. Takao;K. Sawada;M. Ishida
通讯作者：
M. Ishida
影响因子：
4.3
作者：
Shimojo, M;Namiki, A;Mabuchi, K
通讯作者：
Mabuchi, K