Post metallization annealing study in La_2O_3/Ge MOS structure

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La_2O_3/Ge MOS结构金属化后退火研究

DOI:
--
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发表时间:
2009
期刊:
Microelectronic Engineering 86
影响因子:
--
通讯作者:
H.Iwai
H.Iwai
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
J.Song;K.Kakushima;P.Ahmet;K.Tsutsui;N.Sugii;T.Hattori;H.Iwai

文献摘要

参考文献

被引文献

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