Characterization of Strain for High Performance Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor

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高性能金属氧化物半导体场效应晶体管的应变表征

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Jpn. J. Appl. Phys. 47
影响因子:
--
通讯作者:
Atsushi Ogurat
Atsushi Ogurat
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
Disuke Kosemura;Atsushi Ogurat

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: --
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