Solid-Phase crystallization of high-quality Si films on SiO_2 by local Ge-Insertion

Solid-Phase crystallization of high-quality Si films on SiO_2 by local Ge-Insertion
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局部Ge插入在SiO_2上固相结晶高质量Si薄膜

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Thin Solid Films 451-452C
影响因子:
--
通讯作者:
I.Tsunoda 他
I.Tsunoda 他
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
M.Miyao 他;M.Miyao 他;M.Miyao et al.;M.miyao et al.;M.Miyao 他;M.Miyao 他;I.Tsunoda 他

文献摘要

参考文献

被引文献

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