Nano-photomask fabrication using focused ion beam direct writing

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使用聚焦离子束直写的纳米光掩模制造

DOI:
10.1016/j.cirp.2010.03.038
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发表时间:
2010
期刊:
CIRP Annals - Manufacturing Technology
影响因子:
--
通讯作者:
Y.Q. Fu
Y.Q. Fu
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
FZ Fang;ZW Xu;XT Hu;CT Wang;X.G. Luo;Y.Q. Fu

文献摘要

参考文献

被引文献

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