Improving SIMS imaging of FIB bevel cuts with an elaborate sample holder

Improving SIMS imaging of FIB bevel cuts with an elaborate sample holder
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使用精心设计的样品架改进 FIB 斜切的 SIMS 成像

DOI:
10.1116/1.4989554
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发表时间:
2018
期刊:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
影响因子:
--
通讯作者:
M. Rohnke
M. Rohnke
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
C. Schneider;H. Weigand;M. Rohnke

文献摘要

参考文献

被引文献

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