On the Multipole Resonance Probe: Current Status of Research and Development
On the Multipole Resonance Probe: Current Status of Research and Development
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多极共振探针的研究与开发现状
DOI：
10.1109/tps.2021.3113832
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发表时间：
2021
影响因子：
1.5
通讯作者：
I. Rolfes
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Oberrath;M. Friedrichs;J Gong;M. Oberberg;D. Pohle;C. Schulz;C. Wang;Peter Awakowicz;R.P. Brinkmann;M. Lapke;T. Mussenbrock;T. Musch;I. Rolfes
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影响因子：
3.8
作者：
J. Oberrath
通讯作者：
J. Oberrath
在非均匀等离子体中使用多极共振探头进行过程诊断和监测，以进行光学涂层的离子辅助沉积
影响因子：
3.8
作者：
T. Styrnoll;J. Harhausen;M. Lapke;R. Storch;R. Brinkmann;R. Foest;A. Ohl;P. Awakowicz
通讯作者：
P. Awakowicz
一种用于介电沉积过程中监测系统的新型射频等离子体探头
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
International Conference on Electromagnetics in Advanced Applications
影响因子：
--
作者：
C. Schulz;T. Styrnoll;M. Lapke;J. Oberrath;R. Storch;P. Awakowicz;R. Brinkmann;T. Musch;T. Mussenbrock;I. Rolfes
通讯作者：
I. Rolfes
多极共振探针：基于主动等离子体共振光谱的优化射频等离子体探针的实现
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
IEEE Middle East Conference on Antennas and Propagation (MECAP 2010)
影响因子：
--
作者：
C. Schulz;M. Lapke;J. Oberrath;R. Storch;T. Styrmoll;C. Zietz;P. Awakowicz;R. Brinkmann;T. Musch;T. Mussenbrock;I. Rolfes
通讯作者：
I. Rolfes
平面多极共振探头：等离子体辅助介电沉积过程的微创监测概念
影响因子：
4.3
作者：
Dennis Pohle;C. Schulz;M. Oberberg;P. Awakowicz;I. Rolfes
通讯作者：
I. Rolfes