Synthesis of Nitrogen-rich Carbon Nitride Thin Films via Magnetic Field Assisted Inductively Coupled Plasma Sputtering
Synthesis of Nitrogen-rich Carbon Nitride Thin Films via Magnetic Field Assisted Inductively Coupled Plasma Sputtering
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磁场辅助感应耦合等离子体溅射合成富氮氮化碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Osamu Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Riichiro Ohta;Viorel Anita;Takashi Yokota;Nagahiro Saito;Osamu Takai
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在表面波持续等离子体中通过氩稀释提高分子氮解离水平
DOI：
10.1063/1.1359775
发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Tabbal;M. Kazopoulo;T. Christidis;S. Isber
通讯作者：
S. Isber
N 自发掺入 Si(100) 表面。
影响因子：
8.6
作者：
Jeong Won Kim;H. Yeom;K. Kong;Byung Deok Yu;Doyeol Ahn;Yong;C. Whang;H. Yi;Y. Ha;D. Moon
通讯作者：
D. Moon
DOI：
10.1088/0953-8984/8/45/005
发表时间：
1996
期刊：
Journal of Physics: Condensed Matter
影响因子：
--
作者：
Yan Chen;Liping Guo;Feng Chen;E. G. Wang
通讯作者：
E. G. Wang
多晶C3N4薄膜的化学计量生长
DOI：
10.1016/0009-2614(95)01209-7
发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
--
作者：
Yin;Ze;S. Xie;Guo‐zhen Yang
通讯作者：
Guo‐zhen Yang
高密度螺旋波激发等离子体溅射合成氮化碳薄膜
DOI：
10.1016/s0257-8972(01)01119-7
发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. Setsuhara;Y. Sakawa;T. Shoji;M. Kumagai;S. Mikaye
通讯作者：
S. Mikaye