Low plasma damage hydrogen-termination process by antenna-edge-plasma

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天线边缘等离子体低等离子体损伤氢终止工艺

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
et. al.
et. al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Jingu;H. Kawarada;et. al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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