Low plasma damage hydrogen-termination process by antenna-edge-plasma
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复制标题
天线边缘等离子体低等离子体损伤氢终止工艺
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
et. al.
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. Jingu;H. Kawarada;et. al.
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DOI:
10.1063/1.4819029
发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
--
作者:
R. Juday;A. Fischer;Yu Huang;J. Huang;H. Kim;J. Ryou;R. Dupuis;D. Bour;F. Ponce
通讯作者:
F. Ponce
DOI:
10.1143/jjap.35.l807
发表时间:
1996
期刊:
影响因子:
--
作者:
Y. Okamoto;M. Saito;A. Oshiyama
通讯作者:
A. Oshiyama
DOI:
10.1002/pssa.201000976
发表时间:
2011-07
期刊:
physica status solidi (a)
影响因子:
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作者:
K. Nomoto;Y. Hatakeyama;H. Katayose;N. Kaneda;T. Mishima;Tohru Nakamura
通讯作者:
K. Nomoto;Y. Hatakeyama;H. Katayose;N. Kaneda;T. Mishima;Tohru Nakamura
DOI:
10.1063/1.3000383
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
作者:
A. Fischer;S. Srinivasan;F. Ponce;B. Monemar;F. Bertram;J. Christen
通讯作者:
J. Christen
影响因子:
4.9
作者:
Ji, Dong;Agarwal, Anchal;Chowdhury, Srabanti
通讯作者:
Chowdhury, Srabanti