Microelectromechanical systems for biomimetical applications
Microelectromechanical systems for biomimetical applications
复制标题
用于仿生应用的微机电系统
DOI：
10.1116/1.3504892
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Latif R
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Latif R
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用于微电子应用的氧气和氮气中聚合物的脉冲微波等离子体蚀刻
DOI：
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发表时间：
1988
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Lin;M. Belser;Y. Tzeng
通讯作者：
Y. Tzeng
二氧化硅牺牲层的氢氟酸蚀刻I．
DOI：
--
发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
--
作者：
D. Monk;D. Soane;R. Howe
通讯作者：
R. Howe
用于微机械加工应用的干法蚀刻释放工艺
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Zhu;P. Argyrakis;E. Mastropaolo;K. K. Lee;R. Cheung
通讯作者：
R. Cheung
通孔处聚合物残留物的特性及远程氧/氮等离子体的光刻胶灰化性能
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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作者：
Sung Bae Kim;H. Seo;J. Song;Yangdo Kim;H. Soh;Y. C. Kim;H. Jeon
通讯作者：
H. Jeon