Planarization Mechanism of Catalyst-Referred Etching
Planarization Mechanism of Catalyst-Referred Etching
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催化剂参考蚀刻的平坦化机制
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuto Yamauchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Hara;Y. Sano;K. Arima;K. Yagi;J. Murata;A. Kubota;H. Mimura;Kazuto Yamauchi
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通过催化剂参考蚀刻对 4H-SiC (0001) 进行无损伤平坦化
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.556-557.749
发表时间：
2007
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
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作者：
H. Hara;Y. Sano;H. Mimura;Kenta Arima;A. Kubota;K. Yagi;J. Murata;K. Yamauchi
通讯作者：
K. Yamauchi
影响因子：
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作者：
Okamoto, Takeshi;Sano, Yasuhisa;Yamauchi, Kazuto
通讯作者：
Yamauchi, Kazuto
通过催化剂蚀刻降低表面粗糙度
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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作者：
T.Okamoto;Y.Sano;K.Tachibana;K.Arima;A.N.Hattori;K.Yagi;J.Murata;S.Sadakuni;K.Yamauchi;Takeshi Okamoto;Takeshi Okamoto;橘一真;岡本武志;岡本武志;橘一真;岡本武志;岡本武志;岡本武志
通讯作者：
岡本武志
铂和氢氟酸催化蚀刻 4H-SiC 中反应物种的研究
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.740-742.847
发表时间：
2013
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
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作者：
A. Isohashi;Y. Sano;T. Okamoto;K. Tachibana;Kenta Arima;K. Inagaki;K. Yagi;Shun Sadakuni;Y. Morikawa;K. Yamauchi
通讯作者：
K. Yamauchi