Model-assisted measuring method for periodical sub-wavelength nanostructures.
Model-assisted measuring method for periodical sub-wavelength nanostructures.
复制标题
周期性亚波长纳米结构的模型辅助测量方法
DOI：
10.1364/ao.57.000092
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
A. Fischer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
G. Alexe;A. Tausendfreund;D. Stöbener;A. Fischer
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