High Quality Factor Silicon Cantilever Driven by PZT Actuator for Resonant Based Mass Detection
High Quality Factor Silicon Cantilever Driven by PZT Actuator for Resonant Based Mass Detection
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由 PZT 执行器驱动的高品质因数硅悬臂梁，用于基于谐振的质量检测
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jian
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Lu;Jian
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硅电容谐振质量传感器环境大气噪声研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Journal of Applied Physics 102
影响因子：
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作者：
小林公一;田中伸明;小田川健一;佐藤卓;坂本信;田邊裕治;大森豪;古賀良生;S-J Kim
通讯作者：
S-J Kim
影响因子：
8.4
作者：
Li, Y.;Vancura, C.;Hierlemann, A.
通讯作者：
Hierlemann, A.
密集等离子体聚焦反应溅射沉积 AlN 薄膜
DOI：
10.1116/1.2357743
发表时间：
2006
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
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作者：
M. Sadiq;Shoaib Ahmad;M. Shafiq;M. Zakaullah;R. Ahmad;A. Waheed
通讯作者：
A. Waheed
通过将样品放置在共振悬臂内，实现超灵敏称重的生物相容性。
影响因子：
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作者：
P. Tinnefeld
通讯作者：
P. Tinnefeld
DOI：
10.1117/12.759393
发表时间：
2007-12
期刊：
--
影响因子：
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作者：
Jian Lu;T. Ikehara;Yi Zhang;T. Mihara;R. Maeda
通讯作者：
Jian Lu;T. Ikehara;Yi Zhang;T. Mihara;R. Maeda