Current research topics and applications of gas cluster ion beam processes

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气体团簇离子束过程的当前研究主题和应用

DOI:
--
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发表时间:
2005
期刊:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B 242
影响因子:
--
通讯作者:
N.Toyoda
N.Toyoda
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
I.Yamada;N.Toyoda

文献摘要

参考文献

被引文献

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