Current research topics and applications of gas cluster ion beam processes
Current research topics and applications of gas cluster ion beam processes
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气体团簇离子束过程的当前研究主题和应用
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
N.Toyoda
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
I.Yamada;N.Toyoda
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影响因子:
1
作者:
I. Yamada
通讯作者:
I. Yamada
DOI:
10.1116/1.577180
发表时间:
1991
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
R. McEachern;W. Brown;M. Jarrold;M. Sosnowski;G. Takaoka;H. Usui;I. Yamada
通讯作者:
I. Yamada
DOI:
10.1016/0168-583x(94)96094-1
发表时间:
1994
影响因子:
1.3
作者:
R. Zubarev;I. S. Bitensky;P. Demirev;B. Sundqvist
通讯作者:
B. Sundqvist
影响因子:
1.5
作者:
K. Shirai;Y. Fujiwara;R. Takahashi;N. Toyoda;S. Matsui;T. Mitamura;M. Terasawa;I. Yamada
通讯作者:
I. Yamada
DOI:
10.1016/0168-583x(95)01227-3
发表时间:
1996
影响因子:
1.3
作者:
I. Yamada
通讯作者:
I. Yamada