A wafer-level system integration technology for flexible pseudo-SOC incorporates MEMS-CMOS heterogeneous devices

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柔性伪 SOC 的晶圆级系统集成技术采用 MEMS-CMOS 异构器件

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
H.Toshiyoshi
H.Toshiyoshi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
H.Yamada;Y.Onozuka;A.Iida;K.Itaya;H.Funaki;K.Takahashi;H.Toshiyoshi

文献摘要

参考文献

被引文献

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