600-mm aperture simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer
600-mm aperture simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer
复制标题
600毫米孔径同步移相斐索干涉仪
DOI：
10.1016/j.optlastec.2018.02.006
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发表时间：
2018-08
影响因子：
5
通讯作者：
Li Jinpeng
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhu Wenhua;Chen Lei;Yang Ying;Zhang Rui;Zheng Donghui;Han Zhigang;Li Jinpeng
在这项研究中，600毫米口径的同时相移斐索干涉仪。该干涉仪具有由相位光栅衍射的四个相同点源的布置产生的特殊光源配置。利用这种配置，在每对相干光束之间引入相移。设计了一种2 × 2成像透镜阵列，使一个探测器一次可以捕获4幅相位阶跃为π/2的共轭干涉图，从而实现了动态测量。实验是使用建议的干涉仪与一对600毫米口径的传输平面和参考平面放置在一个平台上，没有振动阻力设施。结果描绘了λ/10的峰谷值，并呈现了由环境因素引起的实时相位变化，这表明所提出的大孔径干涉仪的相位的瞬时测量提供了鲁棒的结果，尽管存在诸如振动和气流的环境因素。
In this study, a 600-mm aperture simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer is presented. This interferometer has a special light source configuration produced by an arrangement of four identical point sources diffracted by a phase grating. With this configuration, the phase shifts are introduced between each pair of coherent beams. A 2 × 2 image lens array is designed such that four conjugated interferograms with a phase step of π/2 can be captured in a single shot using one detector, thereby realizing dynamic measurement. The experiment was carried out using the proposed interferometer with a pair of 600 mm aperture transmission flat and reference flat placed on a platform with no vibration resistance facility. The results depict a peak-valley value of λ/10 and present a real-time phase variation caused by environmental factors, which indicates that the instantaneous measurement of the phase by the proposed large-aperture interferometer provides robust results despite the presence of environmental factors such as vibration and airflow.
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DOI：
10.1117/12.956503
发表时间：
2011-09
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Brad Kimbrough;N. Brock;J. Millerd
通讯作者：
Brad Kimbrough;N. Brock;J. Millerd
DOI：
10.1117/12.894676
发表时间：
2011-09
期刊：
ERN: Other Microeconomics: Intertemporal Firm Choice & Growth
影响因子：
--
作者：
Daniel M. Sykora;P. D. de Groot
通讯作者：
Daniel M. Sykora;P. D. de Groot
DOI：
10.1117/12.369221
发表时间：
1999-11
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
L. Deck;J. Soobitsky
通讯作者：
L. Deck;J. Soobitsky
影响因子：
1.9
作者：
Chunyu Zhao;Dongyel Kang;J. Burge
通讯作者：
Chunyu Zhao;Dongyel Kang;J. Burge
四波横向剪切干涉仪系统误差分析与修正
影响因子：
2.4
作者：
Zhu Wenhua;Li Jinpeng;Chen Lei;Zheng Donghui;Yang Ying;Han Zhigang
通讯作者：
Han Zhigang